1. Definition av bulkgassystem:
Lagring och tryckreglering av inerta gaser Gastyper: Typiska inerta gaser (kväve, argon, tryckluft etc.)
Rörledningsstorlek: Från 1/4 (övervakningsrörledning) till 12-tums huvudrörledning
Systemets huvudprodukter är: membranventil/bälgventil/kulventil, högrenhetskoppling (VCR, svetsform), hylskoppling, tryckregleringsventil, tryckmätare etc.
För närvarande inkluderar det nya systemet även ett specialgassystem för bulk, som använder fasta gasflaskor eller tankbilar för lagring och transport.
2. Definition av reningssystem:
Avlägsnande av föroreningar från bulkgaser för högrena gasledningar
3. Definition av gasskåp:
Tillhandahålla tryckreglering och flödesövervakning för speciella gaskällor (giftiga, brandfarliga, reaktiva, korrosiva gaser) och ha möjlighet att byta ut gasflaskor.
Plats: Belägen på undervåningen eller bottenvåningen för lagring av specialgaser. Källa: NF3, SF6, WF6, etc.
Rörledningsstorlek: Intern gasledning, vanligtvis 1/4 tum för processledning, 1/4-3/8 tum huvudsakligen för rörledning för kvävgas med hög renhet.
Huvudprodukter: Membranventiler med hög renhet, backventiler, tryckmätare, tryckmätare, högrenhetskopplingar (VCR, svetsform). Dessa gasskåp innehåller i princip automatiska omkopplingsmöjligheter för cylindrar för att säkerställa kontinuerlig gasförsörjning och säkert byte av cylindrar.
4. Distributionsdefinition:
Anslutning av gaskällan till gasuppsamlingsspolen
Ledningsstorlek: I chipfabriken varierar storleken på bulkgasdistributionsledningen vanligtvis från 1/2 tum till 2 tum.
Anslutningsform: Speciella gasledningar är vanligtvis sammankopplade med svetsning, utan någon mekanisk anslutning eller andra rörliga delar, främst på grund av att svetsanslutningen har stark tätningssäkerhet.
I en chipfabrik finns hundratals kilometer rör anslutna för att överföra gas, vilka i princip är ungefär 6 meter långa och svetsade ihop. Vissa rörböjar och rörformiga svetskopplingar är också mycket vanliga.
5. Multifunktionsventillåda (Ventilfördelare, VMB) Definition:
Det är för att distribuera specialgaser från gaskällan till olika utrustningsändar.
Intern rörledningsstorlek: 6 mm processrörledning och 6 mm - 12 mm rensningsrörledning. Systemet kan använda datorstyrning för att kräva manövrerade ventiler eller minska kostnaderna i situationer med manuella ventiler.
Systemprodukter: membranventiler/bälgventiler med hög renhet, backventiler, kopplingar med hög renhet (VCR, mikrosvetsform), tryckregleringsventiler, tryckmätare och tryckmätare etc. För distribution av vissa inerta gaser används huvudsakligen ventilgrenrörspanelen - VMP (multifunktionsventilskiva), som har en öppen gasskivyta och inte kräver en sluten konstruktion och ytterligare kvävgasrensning.
6. Sekundärventilplatta/låda (verktygskopplingspanel) Definition:
Anslut den gas som halvledarutrustningen behöver från gaskällan till utrustningsänden och reglera trycket därefter. Denna panel är ett gaskontrollsystem som sitter närmare utrustningsänden än VMB (multifunktionsventilboxen).
Gasledningsstorlek: 1/4 - 3/8 tum
Storlek på vätskeledning: 1/2 - 1 tum
Utloppsrörets storlek: 1/2 - 1 tum
Huvudprodukter: membranventil/bälgventil, envägsventil, tryckregleringsventil, tryckmätare, tryckmätare, högrenhetskoppling (VCR, mikrosvetsning), hylskoppling, kulventil, slang etc.
Publiceringstid: 22 november 2024