1. Bulk Gas System Definition:
Lagring och tryckkontroll av inerta gaser Gastyper: Typiska inerta gaser (kväve, argon, tryckluft, etc.)
Rörledningsstorlek: Från 1/4 (övervakningsrörledning) till 12-tums huvudrörledning
Systemets huvudprodukter är: membranventil/bälgventil/kulventil, högrenhetskontakt (videobandspelare, svetsform), hylsanslutning, tryckregleringsventil, tryckmätare, etc.
För närvarande innehåller det nya systemet även ett specialgassystem för bulk, som använder fasta gasflaskor eller tankbilar för lagring och transport.
2. Definition av reningssystem:
Avlägsnande av föroreningar från bulkgaser för gasledningar med hög renhet
3. Gasskåp Definition:
Tillhandahålla tryckkontroll och flödesövervakning för speciella gaskällor (toxiska, brandfarliga, reaktiva, korrosiva gaser) och har förmågan att byta ut gasflaskor.
Plats: Ligger på Sub-fab-golvet eller bottenvåningen för lagring av specialgaser Källa: NF3, SF6, WF6, etc.
Rörledningsstorlek: Intern gasledning, vanligtvis 1/4 tum för processrörledning, 1/4-3/8 tum huvudsakligen för kvävereningsrörledning med hög renhet.
Huvudprodukter: Membranventiler med hög renhet, backventiler, tryckmätare, tryckmätare, högrenhetskontakter (videobandspelare, svetsform) Dessa gasskåp innehåller i princip automatiska omkopplingsmöjligheter för flaskor för att säkerställa kontinuerlig gastillförsel och säkert utbyte av flaskor.
4. Distributionsdefinition:
Anslutning av gaskällan till gasuppsamlingsspolen
Linjestorlek: I chipfabriken varierar storleken på bulkgasdistributionsrörledningen i allmänhet från 1/2 tum till 2 tum.
Anslutningsform: Speciella gasledningar ansluts i allmänhet genom svetsning, utan någon mekanisk anslutning eller andra rörliga delar, främst på grund av att svetsanslutningen har en stark tätningssäkerhet.
I en chipfabrik finns det hundratals kilometer slangar anslutna för att överföra gas, som i princip är cirka 20 fot långa och sammansvetsade. Vissa rörböjar och rörformade svetsanslutningar är också mycket vanliga.
5. Multifunktionsventillåda (Valve Manifold Box, VMB) Definition:
Det är för att distribuera speciella gaser från gaskällan till olika utrustningsändar.
Intern rörledningsstorlek: 1/4 tums processpipeline och 1/4 - 3/8 tums reningsrörledning. Systemet kan använda datorstyrning för att kräva manövrerade ventiler eller lägre kostnadssituationer med manuella ventiler.
Systemprodukter: membranventiler/bälgventiler med hög renhet, backventiler, fogar med hög renhet (videobandspelare, mikrosvetsningsform), tryckregleringsventiler, tryckmätare och tryckmätare, etc. För distribution av vissa inerta gaser, ventilfördelarpanelen - VMP (flerfunktionsventilskiva) används huvudsakligen, som har en öppen gasskivayta och inte kräver en stängd utrymmesdesign och ytterligare kvävespolning.
6. Sekundär ventilplatta/låda (verktygsanslutningspanel) Definition:
Anslut gasen som krävs av halvledarutrustningen från gaskällan till utrustningsänden och tillhandahåll motsvarande tryckreglering. Denna panel är ett gasstyrsystem som är närmare utrustningsänden än VMB (multifunktionsventilbox).
Gasledningsstorlek: 1/4 - 3/8 tum
Vätskeledningsstorlek: 1/2 - 1 tum
Utloppsrörledningsstorlek: 1/2 - 1 tum
Huvudprodukter: diafragmaventil/bälgventil, envägsventil, tryckregleringsventil, tryckmätare, tryckmätare, högrenhetsfog (videobandspelare, mikrosvetsning), hylsa, kulventil, slang, etc.
Posttid: 2024-nov-22