As halvledareoch mikroelektroniska teknologier utvecklas mot högre prestanda och högre integration, ställs högre krav på renheten hos elektroniska specialgaser. Högren gasledningsteknik är en viktig del av gasförsörjningssystemet med hög renhet. Det är nyckelteknologin för att leverera högrena gaser som uppfyller kraven på gasanvändningspunkterna samtidigt som den bibehåller kvalificerad kvalitet.
Rörteknik med hög renhet inkluderar korrekt design av systemet, val av rördelar och hjälpmaterial, konstruktion och installation och testning.
01Allmänt koncept för gasöverföringsrör
Alla gaser med hög renhet och hög renhet måste transporteras till slutgaspunkten genom rörledningar. För att uppfylla processkvalitetskraven för gas, när gasexportindexet är säkert, är det mer nödvändigt att vara uppmärksam på materialvalet och konstruktionskvaliteten för rörsystemet. Förutom noggrannheten hos gasproduktions- eller reningsutrustningen påverkas den till stor del av många faktorer i rörledningssystemet. Därför måste valet av rör följa de relevanta reningsindustrins principer och markera rörens material i ritningarna.
02 Betydelsen av högrena rörledningar vid gastransport
Betydelsen av rörledningar med hög renhet vid transport av hög ren gas Under smältningsprocessen av rostfritt stål kan varje ton absorbera cirka 200 g gas. Efter att det rostfria stålet har bearbetats, fastnar inte bara olika föroreningar på dess yta, utan också en viss mängd gas absorberas i dess metallgitter. När det finns luftflöde som passerar genom rörledningen kommer den del av gasen som absorberas av metallen att återinträda i luftflödet och förorena den rena gasen.
När luftflödet i röret är diskontinuerligt bildar röret tryckadsorption på gasen som passerar igenom. När luftflödet slutar passera bildar gasen som adsorberas av röret tryckreduktionsanalys, och den analyserade gasen kommer också in i den rena gasen i röret som en förorening.
Samtidigt kommer adsorptions- och analyscykeln att få metallen på rörets inre yta att producera en viss mängd pulver. Denna metalldammpartikel förorenar också den rena gasen i röret. Denna egenskap hos röret är mycket viktig. För att säkerställa renheten hos den transporterade gasen krävs inte bara att rörets inre yta har en extremt hög jämnhet utan också att den ska ha hög slitstyrka.
När gasen har starka korrosiva egenskaper måste korrosionsbeständiga rostfria rör användas för rörledningar. Annars kommer korrosionsfläckar att uppstå på rörets inre yta på grund av korrosion. I svåra fall kommer stora metallbitar att lossna eller till och med perforera och därigenom förorena den rena gasen som transporteras.
03Rörmaterial
Materialvalet för röret måste väljas efter användningsbehoven. Kvaliteten på röret mäts i allmänhet enligt grovheten hos rörets inre yta. Ju lägre grovhet, desto mindre sannolikhet är det att bära partiklar. Generellt indelad i tre typer:
En ärEP klass 316L rör, som har blivit elektrolytiskt polerad (Electro-Polish). Den är korrosionsbeständig och har låg ytjämnhet. Rmax (maximal topp till dalhöjd) är cirka 0,3 μm eller mindre. Den har den högsta planheten och är inte lätt att bilda mikrovirvelströmmar. Ta bort förorenade partiklar. Reaktionsgasen som används i processen bör ledas till denna nivå.
En är enBA betyg 316Lrör, som har behandlats av Bright Anneal och som ofta används för gaser som är i kontakt med chipet men som inte deltar i processreaktionen, som GN2 och CDA. Det ena är AP-rör (Annealing & Picking), som inte är specialbehandlat och som vanligtvis används för dubbla uppsättningar av ytterrör som inte används som gasledningar.
04 Rörledningskonstruktion
Bearbetningen av rörmynningen är en av nyckelpunkterna i denna konstruktionsteknik. Rörledningsskärningen och prefabriceringen utförs i en ren miljö, och samtidigt säkerställs att det inte finns några skadliga märken eller skador på ytan av rörledningen innan kapning. Förberedelser för kvävespolning i rörledningen bör göras innan rörledningen öppnas. I princip används svetsning för att ansluta gasöverförings- och distributionsrörledningar med hög renhet och hög renhet med stort flöde, men direktsvetsning är inte tillåten. Höljeskarvar bör användas, och rörmaterialet som används måste inte ha någon förändring i struktur under svetsning. Om materialet med för högt kolinnehåll svetsas, kommer svetsdelens luftpermeabilitet att göra att gasen inuti och utanför röret tränger in i varandra, vilket förstör transportgasens renhet, torrhet och renhet, vilket kommer att leda till allvarliga konsekvenser och påverka produktionskvaliteten.
Sammanfattningsvis, för högren gas- och speciella gasöverföringsledningar måste ett specialbehandlat högrent rostfritt stålrör användas, vilket gör att rörledningssystemet med hög renhet (inklusive rörledningar, rördelar, ventiler, VMB, VMP) upptar en ett viktigt uppdrag inom gasdistribution med hög renhet.
Posttid: 2024-november