As halvledareoch mikroelektroniska tekniker utvecklas mot högre prestanda och högre integration, vilket innebär att högre krav ställs på renheten hos elektroniska specialgaser. Rörledningsteknik för hög renhet hos gaser är en viktig del av systemet för hög renhet hos gaser. Det är nyckeltekniken för att leverera hög renhet hos gaser till gasanvändningspunkterna, samtidigt som de bibehåller kvalificerad kvalitet.
Rörteknik med hög renhet omfattar korrekt systemdesign, val av rördelar och hjälpmaterial, konstruktion, installation och testning.
01 Allmänt koncept för gasöverföringsrör
Alla gaser med hög renhet och hög reningsgrad måste transporteras till slutpunkten för gas via rörledningar. För att uppfylla processkvalitetskraven för gas, när gasexportindexet är säkert, är det ännu viktigare att vara uppmärksam på materialvalet och rörsystemets konstruktionskvalitet. Förutom noggrannheten hos gasproduktions- eller reningsutrustningen påverkas den i hög grad av många faktorer i rörledningssystemet. Därför måste valet av rör följa relevanta reningsindustriprinciper och markera rörmaterialet i ritningarna.
02 Betydelsen av rörledningar med hög renhet vid gastransport
Betydelsen av rörledningar med hög renhet vid transport av gas med hög renhet Under smältprocessen av rostfritt stål kan varje ton absorbera cirka 200 g gas. Efter att det rostfria stålet har bearbetats fastnar inte bara olika föroreningar på ytan, utan en viss mängd gas absorberas också i metallgittret. När det finns ett luftflöde som passerar genom rörledningen kommer den del av gasen som absorberats av metallen att återinträda i luftflödet och förorena den rena gasen.
När luftflödet i röret är diskontinuerligt bildar röret tryckadsorption på den gas som passerar igenom. När luftflödet slutar passera bildar gasen som adsorberas av röret en tryckreduktionsanalys, och den analyserade gasen kommer också in i den rena gasen i röret som en förorening.
Samtidigt kommer adsorptions- och analyscykeln att orsaka att metallen på rörets insida producerar en viss mängd pulver. Denna metalldammpartikel förorenar också den rena gasen i röret. Denna egenskap hos röret är mycket viktig. För att säkerställa renheten hos den transporterade gasen krävs det inte bara att rörets insida har en extremt hög jämnhet, utan också att den har hög slitstyrka.
När gasen har starka korrosiva egenskaper måste korrosionsbeständiga rör av rostfritt stål användas. Annars kommer korrosionsfläckar att uppstå på rörets insida på grund av korrosion. I svåra fall kommer stora metallbitar att lossna eller till och med perforera, vilket förorenar den rena gasen som transporteras.
03 Rörmaterial
Materialvalet för röret måste väljas utifrån användningsbehovet. Rörets kvalitet mäts generellt utifrån ojämnheten på rörets inre yta. Ju lägre ojämnhet, desto mindre sannolikt är det att det innehåller partiklar. Generellt delas det in i tre typer:
En ärEP-rör av klass 316L, som har elektrolytiskt polerats (elektropolerat). Den är korrosionsbeständig och har låg ytjämnhet. Rmax (maximal topp-till-dalhöjd) är cirka 0,3 μm eller mindre. Den har den högsta planheten och bildar inte lätt mikrovirvelströmmar. Avlägsna förorenade partiklar. Reaktionsgasen som används i processen bör ledas i rörledningar på denna nivå.
En är enBA-klass 316Lrör, som har behandlats med Bright Anneal och ofta används för gaser som är i kontakt med spånet men inte deltar i processreaktionen, såsom GN2 och CDA. Ett är AP-rör (Annealing & Picking), som inte är specialbehandlat och vanligtvis används för dubbla uppsättningar ytterrör som inte används som gasförsörjningsledningar.
04 Rörledningskonstruktion
Bearbetningen av röröppningen är en av nyckelpunkterna i denna konstruktionsteknik. Kapning och prefabricering av rörledningen utförs i en ren miljö, och samtidigt säkerställs det att det inte finns några skadliga märken eller skador på rörledningens yta före kapning. Förberedelser för kvävespolning i rörledningen bör göras innan rörledningen öppnas. I princip används svetsning för att ansluta rörledningar för gasöverföring och distribution med hög renhet och hög renhet med stort flöde, men direktsvetsning är inte tillåten. Mantelskarvar bör användas, och det rörmaterial som används måste inte ha någon strukturförändring under svetsningen. Om material med för hög kolhalt svetsas, kommer luftgenomsläppligheten hos svetsdelen att orsaka att gasen inuti och utanför röret tränger in i varandra, vilket förstör renheten, torrheten och hygienen hos den transporterande gasen, vilket kommer att leda till allvarliga konsekvenser och påverka produktionskvaliteten.
Sammanfattningsvis måste ett specialbehandlat rör av högrent rostfritt stål användas för rörledningar för gas med hög renhet och specialgasöverföring, vilket gör att rörledningssystemet med hög renhet (inklusive rörledningar, rördelar, ventiler, VMB, VMP) fyller en viktig uppgift inom distribution av gas med hög renhet.
Publiceringstid: 26 november 2024